膜厚解析ソフトウェア  DT-Fit
   
特徴
エリプソメトリにて計測したサンプルのψ(プサイ)とΔ(デルタ)のデータを独自の光学モデルを組み合わせて生成した理論データと比較し、光学定数や膜厚、又は未知のパラメーターを理論値が実測データにフィットするように自動的に変化させてサンプルの膜厚、光学定数、組成をもとめることができます。
   
     
   
シュミレーション例 2D表示例
          
動作環境  Windows NT、2000が作動するパソコン